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建立100級(jí)(ISO 5)潔凈室所需的實(shí)驗(yàn)室用品和設(shè)備

什么是100級(jí)無(wú)塵室?

ISO 5級(jí)潔凈室,也稱(chēng)為100級(jí)潔凈室,每立方英尺空氣僅允許100個(gè)大小為0.5 µm或更大的顆粒(100,000顆粒/每m³)。這種分類(lèi)在光譜的更關(guān)鍵的一端,需要高水平的過(guò)濾。即使要進(jìn)入100級(jí),也需要通過(guò)其他ISO受控環(huán)境。

可能需要100級(jí)潔凈室的制造業(yè)包括航空航天,光學(xué),半導(dǎo)體,太陽(yáng)能,硅片板,記錄介質(zhì)和可植入醫(yī)療設(shè)備。為了成功啟動(dòng)精心設(shè)計(jì)的ISO 5潔凈室,預(yù)計(jì)劃,過(guò)程實(shí)施和理解系統(tǒng)工程是至關(guān)重要的組成部分。

 

ISO 5潔凈室分類(lèi)

ISO教室標(biāo)識(shí)的命名(ISO標(biāo)準(zhǔn)146144-1:2015)基于每m 3空氣中≥0.1 µm或更大的允許顆粒數(shù)的十進(jìn)制對(duì)數(shù),而聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E的編號(hào)類(lèi)別表示空氣中允許的微粒≥0.5 mm / ft 3。

在理想情況下,要實(shí)現(xiàn)ISO 5空氣清潔度,您必須通過(guò)ISO 8(前室)進(jìn)入潔凈室,然后先通過(guò)ISO 7,再通過(guò)ISO 6,然后再進(jìn)入。盡管這并不總是可行的,但法規(guī)要求兩個(gè)連通的房間的清潔度等級(jí)相差不得超過(guò)兩個(gè)數(shù)量級(jí)。

100級(jí)無(wú)塵室和清潔器設(shè)施采用層流或單向氣流去除空氣中的摻假物。空氣以0.3-0.5 m / s的速度沿一個(gè)方向向下掃過(guò)房間,然后離開(kāi)地板。超低滲透空氣(ULPA)過(guò)濾效率高達(dá)99.9995%,可去除高達(dá)0.12微米的空氣中顆粒。

100級(jí)潔凈室的空氣微粒清潔度

美光

0.1

0.2

0.3

0.5

1個(gè)

5

顆粒/ m 3

100,000

23,700

10,200

3,520

832

29


證明持續(xù)合規(guī)的測(cè)試時(shí)間表

測(cè)試參數(shù)

班級(jí)

zui大時(shí)間間隔

測(cè)試程序

顆粒計(jì)數(shù)測(cè)試

<= ISO 5

6個(gè)月

ISO 14644-1附錄A

氣壓差

所有課程

12個(gè)月

ISO 14644-1附件B5

空氣流動(dòng)

所有課程

12個(gè)月

ISO 14644-1附件B4


聯(lián)邦和ISO氣流速度標(biāo)準(zhǔn)

等級(jí):ISO 146144-1(聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E)

平均風(fēng)速(m / s(ft / min))

每小時(shí)換氣次數(shù)

天花板覆蓋

ISO 5(100級(jí))

0.203 – 0.406(40 – 80)

240 – 480

35 – 70%

成衣

美G“環(huán)境科學(xué)技術(shù)研究所”(IEST)建議為100級(jí)(ISO5)潔凈室使用以下衣物。

  • 發(fā)套
  • 兜帽
  • 口罩(2X)
  • 工作服
  • 靴子
  • 防護(hù)手套
  • 您可能還需要在Class 100潔凈室中儲(chǔ)備起泡劑,胡須套,護(hù)目鏡,手套襯里,贓物和鞋套。

為了zui大程度地減少I(mǎi)SO 5潔凈室中顆粒物的污染,只允許使用無(wú)脫落的潔凈室PPE。它們通常由Gortex,Tyvek,Dacron或其他非織造材料(如聚丙烯或其他微孔材料)制成。

工作服

  • 滌綸無(wú)塵室套裝
  • 聚丙烯無(wú)塵工作服
  • 連帽連體工作服
  • 微孔工作服
  • ISO 6級(jí)無(wú)塵室Tians帶有連帽和拉鏈的 高性能工作服
    • 乳膠/無(wú)膜涂層工作服,用于關(guān)鍵和低顆粒清潔環(huán)境
    • 適用于暴露于血源性病原體,某些有害液體以及需要考慮液體飛濺的地方
    • 靜電耗散聚乙烯/丙烯織物,表面電阻≤1011
    • 連帽,前拉鏈開(kāi)合,松緊的手腕,松緊的腳踝,松緊的下背部和防風(fēng)雨板拉鏈套,鋸齒式接縫構(gòu)造
    • 盡管這個(gè)工作服真的很酷,但是它說(shuō)ISO 6還不夠干凈?

蓬松的

  • 低絨面聚丙烯膨脹帽

 胡子蓋

  • 無(wú)乳膠胡須套

口罩

  • 3層一次性無(wú)紡布口罩

手套

ISO 5或100級(jí)手套符合ISO和FED STD 209E等級(jí)。這些袋裝手套經(jīng)處理不含微生物,不含粉末。一次使用后將其丟棄。

  • ISO 5丁腈手套
  • 100級(jí)丁腈無(wú)塵室手套

鞋套

  • 鞋套由100%紡粘聚丙烯制成,并且防滑

穿衣區(qū)

設(shè)置袍子區(qū),以方便拿取潔凈室服裝。

  • 在更衣室的入口處需要有粘性的墊子,以便在進(jìn)入之前清除顆粒。
  • 踩下粘性墊之后以及進(jìn)入更衣室之前,要準(zhǔn)備好鞋套。
  • 設(shè)置一個(gè)服裝供應(yīng)區(qū),在其一側(cè)上有連衣裙和禮服,并在一個(gè)單獨(dú)的架子上放置頭巾,口罩和其他用品。服裝架由符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的不銹鋼制成,并為清潔和穩(wěn)定而制造。一些儲(chǔ)物柜配備了HEPA過(guò)濾功能,可將不需要的顆粒掃走。
  • 使用容易清洗的長(zhǎng)袍長(zhǎng)凳穿工作服。每次使用后,請(qǐng)準(zhǔn)備無(wú)菌濕巾來(lái)清潔工作臺(tái)。
  • 用無(wú)塵室膠帶劃定干凈/骯臟的地板。5S系統(tǒng)可以幫助提高潔凈室的效率。
  • 只允許在指定的清潔區(qū)域(通常用新鮮的無(wú)紡布拖把清潔)上的贓物。

在潔凈室-辦公用品

日常用品(例如筆,記事本和紙張)不適合用于潔凈室設(shè)置。Lap Pro存有您需要的潔凈室記錄雜物。

  • 無(wú)塵室筆記本
  • 凈化紙和便簽
  • 潔凈室筆(這表示顯微鏡零件和附件?)

在潔凈室中-工具和設(shè)備

  • 適用于ISO 5潔凈室的烤箱
  • 鑷子,鑷子,鉗子,刷子和止血鉗等工具
  • 無(wú)塵棉簽
  • 潔凈室真空系統(tǒng)
  • 潔凈室剃須刀
  • 墊料架和雜物車(chē)生銹且發(fā)霉
  • 儀表和顯示器
  • 架子,架子,箱子和垃圾桶
  • 保溫和運(yùn)輸
  • 垃圾桶和內(nèi)膽

潔凈室化學(xué)品

  • 潔凈室級(jí)溶劑
  • 化學(xué)品儲(chǔ)存柜

打掃

  • 密封邊緣聚酯抹布非常適合ISO 5或100級(jí)潔凈室使用,因?yàn)槠溥吘壊粫?huì)脫落。遠(yuǎn)離聚纖維素或無(wú)紡布擦拭布進(jìn)行此分類(lèi)。
    • 考文垂?jié)崈羰揖埘ツú继峁﹝ui**別的保護(hù),因?yàn)樗鼈円言?0級(jí)(ISO 4級(jí))潔凈室中洗滌過(guò),以除去顆粒。
    • Chemtronics Coventry聚-石ESD擦拭布為100 – 1000級(jí)(ISO 5-6)黑色,激光密封邊緣聚酯擦拭布,在107-109范圍內(nèi)具有靜電耗散性,符合S20.20的要求。
    • Chemtronics Coventry高純聚酯酒精擦布中充滿(mǎn)了經(jīng)過(guò)0.05 µm介質(zhì)過(guò)濾的半導(dǎo)體級(jí)異丙醇(IPA)。它們是經(jīng)過(guò)處理和包裝的10級(jí)(M3,ISO 4)潔凈室,是清洗半導(dǎo)體晶圓廠和其他關(guān)鍵應(yīng)用的理想選擇。
  • Chemitronics Coventry潔凈室霞慕麗去除助焊劑

潔凈室測(cè)試

  • Chemtronics泡沫或植絨取樣棉簽

 

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